与传统的红外和可见波段的激光器相比，紫外激光器的输出波长短，能量集中，分辨率高，聚焦点可小到亚微秒数量级，在一些特殊的材料上具有更高的吸收系数，因此紫外激光可应用于硅和陶瓷材料的加工、蓝宝石晶体划线、多层PCB电路板铜层的打孔等。紫外激光器在超高密度光驱、精密材料加工、紫外固化、光刻、光印刷、医疗、光谱分析和科学研究等领域有广泛的应用前景。长期以来，准分子激光器在紫外“冷加工”应用领域中占有主导地位，但随着全固态激光器的发展，结构紧凑的全固态紫外激光器成为这个领域中更加有效的加工手段。

紫外激光器应用广泛。例如，XeCl准分子激光和355 nm激光双波长紫外差分吸收探测结合光学多通道分析技术可用来探测水体表面微米厚度的石油荧光光谱，不同的石油类型具有不同的荧光寿命，结合水拉曼散射信号可以定量的探测水体中石油污染物的含量。光盘控制处理需要350nm附近波长的连续低功率激光光源，355nm激光作为1064nm的三倍频，是一种很有吸引力的激光光源。